
| 臺(tái)面尺寸 | 60×60mm |
|---|---|
| 手動(dòng)微調(diào)*小分辨率(參考值) | 20nm以下 |
| 微分頭*小讀數(shù) | 0.01mm |
| 微分頭的安裝位置 | 側(cè)面 |
| 扭矩剛度/俯仰 | 0.3″/N?cm |
| 扭矩剛度/轉(zhuǎn)動(dòng) | 0.25″/N?cm |
| 導(dǎo)軌形式 | TSD導(dǎo)軌 |
| 移動(dòng)精度/直線度 | 3μm |
| 移動(dòng)平行度 | 10μm |
| 行程/周 | 0.5mm |
| *大承載力矩/俯仰 | 4.9N?m |
| *大承載力矩/偏擺 | 4.9N?m |
| *大承載力矩/轉(zhuǎn)動(dòng) | 4.9N?m |
| 自重 | 0.25kg |
| 主要材料 | 鋁合金 |
| 粗調(diào)行程 | ±6.5mm |
| 承載能力 | 49N(5kgf) |
| 微調(diào)行程 | 30μm以上 |
| 表面處理 | 黑色氧化 |
| 平行度 | 30μm |