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SIGMAKOKI西格瑪光機
SIGMAKOKI西格瑪光機X軸手動納米平臺
產(chǎn)品型號:TADC-651S25UUPA
產(chǎn)品品牌:SIGMAKOKI西格瑪光機
產(chǎn)品介紹:
通過在X軸手動平臺本體上加裝壓電驅(qū)動器來實現(xiàn)20nm以下的精密微調(diào)。適用于需要高分辨率定位機能的手動平臺組件或系統(tǒng)。臺面尺寸有25x25,40x40,60x60mm,65x65mm等三種。
詳細介紹
SIGMAKOKI西格瑪光機X軸手動納米平臺 / TADC-651S25UUPA
通過在X軸手動平臺本體上加裝壓電驅(qū)動器來實現(xiàn)20nm以下的精密微調(diào)。適用于需要高分辨率定位機能的手動平臺組件或系統(tǒng)。臺面尺寸有25x25,40x40,60x60mm,65x65mm等三種。
無需對手動納米平臺操作箱進行設(shè)定即可進行微調(diào)??赏瑫r使用旋鈕和微分頭進行微調(diào)和粗調(diào),互不影響。
微調(diào)需要通過納米平臺手動操作箱(PASC)來進行。手動納米平臺附有一條用于連接納米平臺手動操作箱的2m長電纜。
注意
安裝平臺時,一定要注意不要碰撞微分頭的對側(cè)擋板,以防對壓電驅(qū)動機構(gòu)造成破壞。
關(guān)掉納米平臺手動操作箱(OASC)電源后,壓電微調(diào)位置會發(fā)生變化。
臺面尺寸
65×65mm
手動微調(diào)*小分辨率(參考值)
20nm以下
微分頭*小讀數(shù)
0.01mm
微分頭的安裝位置
側(cè)面
扭矩剛度/俯仰
0.3″/N?cm
扭矩剛度/轉(zhuǎn)動
0.3″/N?cm
導(dǎo)軌形式
TSD導(dǎo)軌
移動精度/直線度
3μm
移動平行度
10μm
行程/周
0.5mm
*大承載力矩/俯仰
4.9N?m
*大承載力矩/偏擺
4.9N?m
*大承載力矩/轉(zhuǎn)動
4.9N?m
自重
0.36kg
主要材料
鋁合金
粗調(diào)行程
±12.5mm
承載能力
49N(5kgf)
微調(diào)行程
30μm以上
表面處理
黑色氧化
平行度
30μm
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