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※1連接到SHR控制器后，AutoConfig功能自動設(shè)定分辨率。
※2 啟用多點(diǎn)糾錯功能時的數(shù)值。
※3 在微小范圍內(nèi)進(jìn)行重復(fù)定位精度測量（ISO）所得到的結(jié)果。?NFS-UPX系列1nm閉環(huán)控制平臺測量步長（間距）：5nm
注意
請?jiān)跍囟茸兓炔淮蟮沫h(huán)境中使用。（推薦：23±1℃）
請盡量在振動較小的環(huán)境中使用?；虿扇∫欢ǖ姆勒翊胧?。
請?jiān)跊]有油霧的環(huán)境中使用。光柵尺如果被污染的話可能會產(chǎn)生誤差。