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日本KOSAKA小坂半導體設備
產(chǎn)品型號:大慶半導體行業(yè)表面粗糙度和輪廓測量機SEF800-N
產(chǎn)品品牌:KOSAKA小坂研究所
產(chǎn)品介紹:

KOSAKA LABORATORY LTD小坂研究所自1950年創(chuàng)業(yè)以來,一直以使用精密工程學技術被信賴的“技術”為口號,開發(fā)、銷售商品群。擁有以形狀測量機為中心的精密機器、以小坂研究所螺桿泵為中心的流體機器、以及半導體制造相關裝置、自動包裝機等自動設備三個領域。KOSAKA小坂螺桿泵,KOSAKA LABORATORY螺桿泵,KOSAKA小坂泵。小坂研究所泵。

詳細介紹


株式會社小坂研究所(KOSAKA)是于 1950 年創(chuàng)立的公司,也是日本家發(fā)表光學杠桿表面粗糙度計,是一家具有悠久歷史與技術背景的業(yè)廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為具代表性單位且在日本精密測定業(yè)占有一席無法被取代的地位。

設備特點:

KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供**的形貌分析,包括半導體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學器件、薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高精度表面形貌分析應用。ET200A 能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數(shù)。


KOSAKA小坂粗糙度儀,粗度計,粗度儀EF800、SE800、3D

KOSAKA小坂粗糙度輪廓一體機  SEF580A、EF800.    SEF580A-G18D

KOSAKA小壇輪廓儀   EF550A、EF800

KOSAKA小坂臺階儀,膜厚儀,薄膜測厚儀KOSAKA小坂圓度儀,真圓度儀,圓柱度儀 

KOSAKA小坂測量儀配件

KOSAKA小坂非接觸式表面形貌測量裝置

KOSAKA小坂微細深孔測量裝置ET200A  、ET4000 、ET8000
KOSAKA小坂晶圓檢測裝置

KOSAKA小坂關節(jié)管測量儀

KOSAKA小坂探針卡檢測設備

KOSAKA小坂高精度貼片機SS-N21    SS-L    SS-G41   SS-C   SS-R  SS-B

KOSAKA小坂傳感器


它是表面粗糙度測量機和輪廓形狀測量機的組合,可以用一個單元進行粗糙度波紋度評估和形狀評估。

  • 表面粗糙度測量
    • 它符合每個國家/地區(qū)的標準。
    • 配備垂直軸和水平軸的自動校準功能。
    • 從測量到打印自動執(zhí)行。
  • 輪廓形狀測量
    • 多截面形狀分析。
    • 強大的宏功能,采用“一鍵操作”方法。
    • 測量操作支持。

表面粗糙度

測量范圍/分辨率 Z軸:600μm/0.04nm
進給速度 0.05~2毫米/秒
唱針 R2μm 0.75 mN 或更低

輪廓形狀

測量精度 Z:± (1.0 + l0.04× hl) μm 或更小 H:位移 (mm)
X:± (1.0 + 0.02 L) μm 或更小 L:測量長度 (mm)
測量范圍 Z軸:±30mm X軸:100mm
唱針 R25微米 10~30mN

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