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日本KOSAKA小坂半導(dǎo)體設(shè)備
產(chǎn)品型號:半導(dǎo)體行業(yè)SEF580A-G18D表面粗糙度和輪廓測量機東莞
產(chǎn)品品牌:KOSAKA小坂研究所
產(chǎn)品介紹:

KOSAKA LABORATORY LTD小坂研究所自1950年創(chuàng)業(yè)以來,一直以使用精密工程學(xué)技術(shù)被信賴的“技術(shù)”為口號,開發(fā)、銷售商品群。擁有以形狀測量機為中心的精密機器、以小坂研究所螺桿泵為中心的流體機器、以及半導(dǎo)體制造相關(guān)裝置、自動包裝機等自動設(shè)備三個領(lǐng)域。KOSAKA小坂螺桿泵,KOSAKA LABORATORY螺桿泵,KOSAKA小坂泵。小坂研究所泵。

詳細(xì)介紹


株式會社小坂研究所(KOSAKA)是于 1950 年創(chuàng)立的公司,也是日本家發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計,是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的業(yè)廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為具代表性單位且在日本精密測定業(yè)占有一席無法被取代的地位。

設(shè)備特點:

KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供**的形貌分析,包括半導(dǎo)體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200A 能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。


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KOSAKA小坂粗糙度輪廓一體機  SEF580A、EF800.    SEF580A-G18D

KOSAKA小壇輪廓儀   EF550A、EF800

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KOSAKA小坂非接觸式表面形貌測量裝置

KOSAKA小坂微細(xì)深孔測量裝置ET200A  、ET4000 、ET8000
KOSAKA小坂晶圓檢測裝置

KOSAKA小坂關(guān)節(jié)管測量儀

KOSAKA小坂探針卡檢測設(shè)備

KOSAKA小坂高精度貼片機SS-N21    SS-L    SS-G41   SS-C   SS-R  SS-B

KOSAKA小坂傳感器



可以進行兩種類型的測量:“表面粗糙度”和“輪廓形狀”。 使用觸摸屏提供了出色的操作性,例如“切換測量條件”,并且可以快速響應(yīng)各種工件的測量。

  • 表面粗糙度測量
    • 可以在一次測量中分析不同標(biāo)準(zhǔn)的參數(shù),并且可以順利過渡到新標(biāo)準(zhǔn)。
  • 輪廓形狀測量
    • X 軸上的*大測量采樣點數(shù)高達 64,000 個點,可實現(xiàn)高分辨率的長距離測量。

表面粗糙度

測量范圍/分辨率 Z軸:600μm/0.08nm
進給速度 0.02~10 毫米/秒
唱針 R2μm 0.75 mN 或更低

輪廓形狀

測量精度 Z:±0.25%(我們的標(biāo)準(zhǔn)) X:± (1+0.02L) μm 或更小
L:測量長度 (mm)
測量范圍 Z:50mm  X:100mm
唱針 R25微米 10~30mN


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