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KOSAKA小坂表面粗糙度非接觸式探測(cè)器
產(chǎn)品型號(hào):半導(dǎo)體行業(yè)非接觸式探測(cè)器表面粗糙度測(cè)量機(jī)太原
產(chǎn)品品牌:KOSAKA小坂研究所
產(chǎn)品介紹:

KOSAKA LABORATORY LTD小坂研究所自1950年創(chuàng)業(yè)以來,一直以使用精密工程學(xué)技術(shù)被信賴的“技術(shù)”為口號(hào),開發(fā)、銷售商品群。擁有以形狀測(cè)量機(jī)為中心的精密機(jī)器、以小坂研究所螺桿泵為中心的流體機(jī)器、以及半導(dǎo)體制造相關(guān)裝置、自動(dòng)包裝機(jī)等自動(dòng)設(shè)備三個(gè)領(lǐng)域。KOSAKA小坂螺桿泵,KOSAKA LABORATORY螺桿泵,KOSAKA小坂泵。小坂研究所泵。

詳細(xì)介紹


株式會(huì)社小坂研究所(KOSAKA)是于 1950 年創(chuàng)立的公司,也是日本家發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計(jì),是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的業(yè)廠商,主要有測(cè)定/自動(dòng)/流體三大部門。其中測(cè)定部門為具代表性單位且在日本精密測(cè)定業(yè)占有一席無法被取代的地位。

設(shè)備特點(diǎn):

KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供**的形貌分析,包括半導(dǎo)體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測(cè)量的方式來實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200A 能**可靠地測(cè)量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。


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KOSAKA小坂粗糙度輪廓一體機(jī)  SEF580A、EF800.    SEF580A-G18D

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KOSAKA小坂非接觸式表面形貌測(cè)量裝置

KOSAKA小坂微細(xì)深孔測(cè)量裝置ET200A  、ET4000 、ET8000
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非接觸式測(cè)量允許在不損壞樣品的情況下進(jìn)行測(cè)量。 緊湊的光學(xué)布置可實(shí)現(xiàn)內(nèi)徑的表面紋理測(cè)量,這是現(xiàn)有非接觸式探測(cè)器難以實(shí)現(xiàn)的。


  • 由于檢測(cè)到與焦點(diǎn)的偏差量,因此沒有根據(jù)形狀移動(dòng)的部件,因此可以進(jìn)行高速測(cè)量。
  • 由于激光的光強(qiáng)度可以分 20 步改變,因此甚至可以測(cè)量低反射率工件。
  • 自動(dòng)停止功能可自動(dòng)將探測(cè)器移動(dòng)到焦點(diǎn),無需聚焦
測(cè)量范圍 12~500微米
分辨率 0.2~0.5納米
光斑直徑在測(cè)量范圍內(nèi) 約 1~25μm
測(cè)量精度 1%+0.03微米
重復(fù)性 10 納米
激光 *大輸出 2 mW,635 nm,1 級(jí) (JIS C 6802:2011)


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