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KOFLOC小島全金屬數(shù)字質(zhì)量流量控制器DF-550C
產(chǎn)品型號(hào):DF-550C樂山
產(chǎn)品品牌:KOFLOC小島
產(chǎn)品介紹:

科賦樂從創(chuàng)業(yè)至今已有60 多年的歷史,深入挖掘人類的智慧,不斷深入技術(shù)**,尤其在氣體的測(cè)量、控制方面贏得社會(huì)各界的信賴近年來,又開發(fā)出液體測(cè)量控制方面的新設(shè)備,作為流體(氣體液體)界專家的科賦樂,重視匠人的精神,貼近客戶的需求,以創(chuàng)建豐富的地球環(huán)境為目標(biāo)不斷迎接挑戰(zhàn)。

詳細(xì)介紹


全金屬數(shù)字質(zhì)量流量控制器




MODEL DF-550C SERIES


高性能數(shù)字MFC“DF-250C系列”的全金屬型號(hào)“DF-550C”發(fā)布!
金屬密封結(jié)構(gòu)可以測(cè)量和控制半導(dǎo)體工藝氣體和其他腐蝕性氣體。

  • 通過新型螺線管改善響應(yīng)速度,在所有流量區(qū)域?qū)崿F(xiàn)1秒以內(nèi)高速響應(yīng)
  • 不銹鋼密封使其支持高活性氣體
  • 10SCCM~10SLM序列
  • 可通過2個(gè)通信端口進(jìn)行菊花鏈連接
  • 配備RS-485通訊功能標(biāo)準(zhǔn)
  • 支持RoHS.CE規(guī)格





DF-550C標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范

傳感器方式 熱繞組傳感器
閥門方式 比例電磁閥(未通電時(shí)關(guān)閉)
目標(biāo)氣體(* 1) N2,Air,H2,He,Ar,O2,CO2等
(未記載的氣體換算成N2進(jìn)行校正)
流量范圍(* 2) 10 SCCM~10 SLM
控制范圍 2~100%(F.S.)
響應(yīng)能力 總流量控制范圍 1sec內(nèi)(wihtin±2%F.S.)
L:50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa
精度(* 3) ±1.0%F.S.
再現(xiàn)性 ±0.25%F.S.
工作壓差(* 4) 50~350 kPa(F.S.10 SLM:100~350 kPa)
*大入口壓力 500kPa(G)
耐壓 980kPa(G)
He泄漏率 1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下
溫度 使用溫度 5~50℃
精度保證溫度 15~35℃
允許儲(chǔ)存溫度 -10~60℃
允許環(huán)境濕度 10~90%RH (無結(jié)露)
氣體接觸材料 SUS316L,磁性不銹鋼,PTFE,Ni-Co
電氣連接 D-sub 9針KFC Standard(依據(jù)SEMI standard),RJ-45模塊化插孔x 2
流量設(shè)定信號(hào) 0~5 VDC(輸入電阻約1MΩ)
流量輸出信號(hào) 0~5 VDC(負(fù)載電阻10kΩ以上)
數(shù)字通信 使用RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)設(shè)置地址:*多99臺(tái)(9600 bps)
所需電源(DC) +15 VDC(±5%):150 mA,-15 VDC(±5%):150 mA
接頭 相當(dāng)于1/4 VCR
安裝姿勢(shì) 推薦水平方向
重量(* 9) 約1100g

(* 1)應(yīng)為干燥氣體,無腐蝕性成分、灰塵、霧氣等的干凈氣體。

(* 2)流量校準(zhǔn)單位SCCM和SLM是質(zhì)量流量在0°C和1個(gè)大氣壓狀態(tài)下轉(zhuǎn)換為體積流量cc / min和L / min的值。

(* 3)對(duì)于流量范圍(*大滿量程)的精度。

(* 4)工作壓差可能因規(guī)格而異。

如果有任何關(guān)于KOFLOC小島流量計(jì)的疑問,請(qǐng)隨時(shí)與我們溝通

我們將盡全力解決您的問題。

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下列型號(hào)均有售

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KOFLOC小島流量計(jì)穩(wěn)定控制大流量 大流量精密針閥MODEL 2412D SERIES
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KOFLOC小島流量計(jì)分析儀器專用調(diào)節(jié)器 大流量專用壓力調(diào)節(jié)閥MODEL 6700 SERIES
KOFLOC小島流量計(jì)分析儀器專用精密調(diào)節(jié)器 壓力調(diào)節(jié)閥MODEL 6600 SERIES
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KOFLOC小島流量計(jì)帶顯示屏的數(shù)字質(zhì)量流量控制器DF300DF550DF200DF250
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