與MODEL6600相比，新開發(fā)的本儀器在低壓側精度更高，重現性更好，能夠快速準確地進行壓力調節(jié)。
本產品*適合用于高靈敏度的分析儀器、研究開發(fā)或半導體制造設備。

• 具有低壓側高精度控制的特性
  將壓力設為0.01?0.15MPa，在此條件下對于一次側壓力變化、二次側負荷電阻變化，具有重現性在±1％以內的高控制性能。
• 不使用潤滑油
  接觸氣體部分由不銹鋼、氟橡膠、氟樹脂制成，不使用任何潤滑油，*適合需要保持純凈狀態(tài)的半導體領域等。
•  防松螺母結構
  通過防松螺母固定設定過一次的壓力調節(jié)位置，可防止設定發(fā)生變化。
•  不滲液
  本產品屬于不滲液型，不會發(fā)生氣體外泄，請您放心使用