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日本KOSAKA小坂研究所輪廓測量機(jī)EF550A系列
產(chǎn)品型號: EF550A系列搬運(yùn)晶圓時的靜電消除電子檢測
產(chǎn)品品牌:KOSAKA小坂研究所
產(chǎn)品介紹:

KOSAKA LABORATORY LTD小坂研究所自1950年創(chuàng)業(yè)以來,一直以使用精密工程學(xué)技術(shù)被信賴的“技術(shù)”為口號,開發(fā)、銷售商品群。擁有以形狀測量機(jī)為中心的精密機(jī)器、以小坂研究所螺桿泵為中心的流體機(jī)器、以及半導(dǎo)體制造相關(guān)裝置、自動包裝機(jī)等自動設(shè)備三個領(lǐng)域。KOSAKA小坂螺桿泵,KOSAKA LABORATORY螺桿泵,KOSAKA小坂泵。小坂研究所泵。

詳細(xì)介紹


株式會社小坂研究所(KOSAKA)是于 1950 年創(chuàng)立的公司,也是日本家發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計,是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的業(yè)廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為具代表性單位且在日本精密測定業(yè)占有一席無法被取代的地位。

設(shè)備特點:

KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供**的形貌分析,包括半導(dǎo)體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200A 能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。


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KOSAKA小坂粗糙度輪廓一體機(jī)

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KOSAKA小坂微細(xì)深孔測量裝置
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KOSAKA小坂高精度貼片機(jī)

KOSAKA小坂傳感器



KOSAKA小坂研究所,營業(yè)項目:自動車光電半導(dǎo)體精密測定機(jī)器,表面粗度測定機(jī),微細(xì)形狀測定,輪廓形狀測定機(jī),真圓度測定/真圓度圓筒形狀測定機(jī)


營業(yè)項目適應(yīng)行業(yè):


表面粗糙度測量機(jī):使用鉆石或是激光光學(xué)測針、接觸(追蹤)加工件表面、測量出工件表面微細(xì)凹凸、并以定型或定量來分析粗糙度參數(shù)。


微細(xì)形狀、臺階測量計:FPD基板、硅晶片、硬磐等表面微細(xì)形狀、臺階、粗糙度測量


圓度、圓柱形狀測量機(jī):測量發(fā)動機(jī)、缸體、活塞、曲軸、軸承等,具有圓度圓柱度、球形、平面形狀的工件,評估圓度、圓柱度、直線度、同軸度等形狀精度


輪廓測量機(jī):以測針追蹤加工部件外形測量出輪廓,分析出輪廓各部位的角度,半徑、間隔、臺階、段差等等




配備分析宏,支持復(fù)雜分析工作的省力化。

  • 它是一種具有高度便攜性和安裝自由度的測量機(jī)。
  • 通過實時輸出功能,可以獲得測得的放大形狀數(shù)據(jù)。
  • 通過連接到輪廓形狀分析系統(tǒng),可以進(jìn)行更**的分析。
測量精度 Z:±(2.5+0.5×|H|) μm以下 H:位移 (mm) X:± (2.5 + 0.02 L) μm 以下 L:測量長度 (mm)
分辨率 Z:0.25 μm X 刻度:0.1 μm
采樣次數(shù)/*小間隔 *大 64,000 點 / *小 0.5μm
測量范圍 Z:30毫米 X:50毫米
顯示放大倍率 垂直(Z)、水平(X):1~2,000次


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