株式會(huì)社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年創(chuàng)立的公司，也是日本一家發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計(jì)，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的業(yè)廠商,主要有測(cè)定/自動(dòng)/流體三大部門。其中測(cè)定部門為具代表性單位且在日本精密測(cè)定業(yè)占有一席無(wú)法被取代的地位。
設(shè)備特點(diǎn)：
KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供**的形貌分析，包括半導(dǎo)體硅片、太陽(yáng)能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測(cè)量的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200A 能**可靠地測(cè)量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。
KOSAKA小坂粗糙度儀，粗度計(jì)，粗度儀
KOSAKA小坂粗糙度輪廓一體機(jī)
KOSAKA小壇輪廓儀
KOSAKA小坂臺(tái)階儀，膜厚儀，薄膜測(cè)厚儀KOSAKA小坂圓度儀，真圓度儀，圓柱度儀
KOSAKA小坂測(cè)量?jī)x配件
KOSAKA小坂非接觸式表面形貌測(cè)量裝置
KOSAKA小坂微細(xì)深孔測(cè)量裝置
KOSAKA小坂晶圓檢測(cè)裝置
KOSAKA小坂關(guān)節(jié)管測(cè)量?jī)x
KOSAKA小坂探針卡檢測(cè)設(shè)備
KOSAKA小坂高精度貼片機(jī)
KOSAKA小坂傳感器
KOSAKA小坂研究所，營(yíng)業(yè)項(xiàng)目：自動(dòng)車光電半導(dǎo)體精密測(cè)定機(jī)器，表面粗度測(cè)定機(jī)，微細(xì)形狀測(cè)定，輪廓形狀測(cè)定機(jī)，真圓度測(cè)定/真圓度圓筒形狀測(cè)定機(jī)
營(yíng)業(yè)項(xiàng)目適應(yīng)行業(yè)：
表面粗糙度測(cè)量機(jī)：使用鉆石或是激光光學(xué)測(cè)針、接觸（追蹤）加工件表面、測(cè)量出工件表面微細(xì)凹凸、并以定型或定量來(lái)分析粗糙度參數(shù)。
微細(xì)形狀、臺(tái)階測(cè)量計(jì)：FPD基板、硅晶片、硬磐等表面微細(xì)形狀、臺(tái)階、粗糙度測(cè)量
圓度、圓柱形狀測(cè)量機(jī)：測(cè)量發(fā)動(dòng)機(jī)、缸體、活塞、曲軸、軸承等，具有圓度圓柱度、球形、平面形狀的工件，評(píng)估圓度、圓柱度、直線度、同軸度等形狀精度
輪廓測(cè)量機(jī)：以測(cè)針追蹤加工部件外形測(cè)量出輪廓，分析出輪廓各部位的角度，半徑、間隔、臺(tái)階、段差等等
它是一款全自動(dòng)微形狀測(cè)量機(jī)，具有出色的精度、穩(wěn)定性和功能性，非常適合測(cè)量FPD基板、晶圓、硬盤等的精細(xì)形狀、臺(tái)階和粗糙度。 此外，您可以從多種型號(hào)中進(jìn)行選擇，以適合您的應(yīng)用。
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ET4000A???多功能全自動(dòng)微形狀測(cè)量機(jī)
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ET4000L：可處理大尺寸的全自動(dòng)微形狀測(cè)量機(jī)
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ET4000M???合理、高性能、通用的微形狀測(cè)量機(jī)
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*大樣本量
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210×210毫米、300×400毫米
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再現(xiàn)性
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1σ 0.5nm以下
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測(cè)量范圍
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Z軸：100μm X軸：100mm （Y軸行程：150~400mm）
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分辨率
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Z：0.1納米 X：0.01微米
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測(cè)量力
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0.5μN(yùn)~500μN(yùn)
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