國內(nèi)總代原裝進(jìn)口總供ULVAC愛發(fā)科高速橢偏儀自動UNECS-1500A 國內(nèi)各區(qū)域均有售
ULVAC的高速光譜橢偏儀(UNECS系列)可以高速、高精度地測量薄膜的厚度和折射率。 采用獨(dú)特的測量方法,實(shí)現(xiàn)高速測量和緊湊性。 根據(jù)用途,我們有廣泛的產(chǎn)品陣容,從獨(dú)特的便攜式型到自動載物臺型和可以集成到設(shè)備中的內(nèi)置型。
UNECS-1500M/UNECS-1500M-030/UNECS-1500MW/UNECS-1500MW-030
UNECS-1500A/UNECS-1500A-030/UNECS-1500AW/UNECS-1500AW-030/UNECS-2000A/UNECS-2000A-030/UNECS-2000AW/UNECS-2000AW-030/UNECS-3000A/UNECS-3000A-030/UNECS-3000AW/UNECS-3000AW-030
UNECS-1M型/UNECS-1M-030型/UNECS-1MW系列/UNECS-1MW-030型
UNECS系列是高速、高精度測量薄膜厚度和折射率的光譜橢偏儀。
采用獨(dú)特的測量方法,實(shí)現(xiàn)高速測量和緊湊性。
根據(jù)用途,我們提供廣泛的產(chǎn)品陣容,從獨(dú)特的便攜式型到自動載物臺型以及支持真空環(huán)境的內(nèi)置型設(shè)備。
帶映射測量的自動載物臺類型
UNECS系列是高速、高精度測量薄膜厚度和折射率的光譜橢偏儀。
采用獨(dú)特的測量方法,實(shí)現(xiàn)高速測量和緊湊性。
根據(jù)用途,我們提供廣泛的產(chǎn)品陣容,從獨(dú)特的便攜式型到自動載物臺型以及支持真空環(huán)境的內(nèi)置型設(shè)備。
UNECS-1500A/2000A/3000A使用自動R-theta載物臺和自動對焦功能,可快速自動測量基板表面的厚度分布,并將結(jié)果顯示在彩se圖中。
長處:
型 | 1500安培 | 2000安培 | 3000安培 | |
波長范圍 | 530~750nm、380~760nm(任選) | |||
光斑直徑 | Φ1mm、Φ0.3mm(任選) | |||
入射角 | 70°固定 | |||
薄膜厚度再現(xiàn)性 | 1σ = 0.1納米 | |||
厚度范圍 | 1納米~2微米 | |||
測量時間 | 光接收:20ms~3000ms 操作:300ms | |||
階段 | Φ150mm自動 | φ200mm自動 | Φ300mm自動 | |
自動測量 | 200 積分 | 200 積分 | 2,000 積分 | |
控制電腦 | 筆記本型(帶操作和分析軟件) | |||
儀器配置 | 測量本體、控制器、操作電腦(筆記本電腦型)、使用說明書(CD) |