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國內(nèi)總代原裝進口日本進口ULVAC愛發(fā)科高速橢偏儀UNECS-Portable-030 固定式 國內(nèi)各區(qū)域均有售 

高速橢圓光譜儀UNECS系列

ULVAC的高速光譜橢偏儀（UNECS系列）可以高速、高精度地測量薄膜的厚度和折射率。 采用獨特的測量方法，實現(xiàn)高速測量和緊湊性。 根據(jù)用途，我們有廣泛的產(chǎn)品陣容，從獨特的便攜式型到自動載物臺型和可以集成到設備中的內(nèi)置型。

■高速測量 獨特的測量方法，沒有旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，可以以*大20ms的速度進行高速測量，并且可以在短時間內(nèi)測量重復測量和
多點分布測量。

■ 除了標準型（530 nm-750 nm）外，波長范圍還增加了可見光譜型（380 nm-760 nm），應用范圍更廣。

■ 緊湊型傳感器單元發(fā)射光傳感器僅由一個光學元件組成，該元件沒有旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，非常輕巧緊湊，不需要定期維護。

■ 豐富的產(chǎn)品陣容能夠處理各種用途，包括獨特的便攜式類型、手動/自動載物臺類型、大型基板類型和
內(nèi)置設備類型。

UNECS-1500M/UNECS-1500M-030/UNECS-1500MW/UNECS-1500MW-030

UNECS-1500A/UNECS-1500A-030/UNECS-1500AW/UNECS-1500AW-030/UNECS-2000A/UNECS-2000A-030/UNECS-2000AW/UNECS-2000AW-030/UNECS-3000A/UNECS-3000A-030/UNECS-3000AW/UNECS-3000AW-030

UNECS-1M型/UNECS-1M-030型/UNECS-1MW系列/UNECS-1MW-030型

UNECS系列是高速、高精度測量薄膜厚度和折射率的光譜橢偏儀。
采用獨特的測量方法，實現(xiàn)高速測量和緊湊性。
根據(jù)用途，我們提供廣泛的產(chǎn)品陣容，從獨特的便攜式型到自動載物臺型以及支持真空環(huán)境的內(nèi)置型設備。
UNECS-Portable 是一種便攜式類型，重量僅為 2.2 kg，重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊，便于攜帶。

它帶有一個簡單的固定載物臺，用于小樣品，并且可以從載物臺上取下以測量大樣品。

規(guī)范

波長范圍		530~750nm、380~760nm（任選）
光斑直徑		Φ1mm、Φ0.3mm（任選）
入射角		70°固定
薄膜厚度再現(xiàn)性		1σ = 0.1納米
厚度范圍		1納米~2微米
測量時間		光接收：20ms~3000ms 操作：300ms
階段		固定式（Φ50mm以下，可拆卸）
控制電腦		筆記本型（帶操作和分析軟件）
儀器配置		測量體（帶固定載物臺）、控制箱、光源單元 操作PC（筆記本電腦型）、使用說明書（CD）