株式會社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年創(chuàng)立的公司，也是日本一家發(fā)表光學杠桿表面粗糙度計，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的業(yè)廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為具代表性單位且在日本精密測定業(yè)占有一席無法被取代的地位。
設(shè)備特點：
KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供**的形貌分析，包括半導體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學器件、薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200A 能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。
KOSAKA小坂粗糙度儀，粗度計，粗度儀
KOSAKA小坂粗糙度輪廓一體機
KOSAKA小壇輪廓儀
KOSAKA小坂臺階儀，膜厚儀，薄膜測厚儀KOSAKA小坂圓度儀，真圓度儀，圓柱度儀
KOSAKA小坂測量儀配件
KOSAKA小坂非接觸式表面形貌測量裝置
KOSAKA小坂微細深孔測量裝置
KOSAKA小坂晶圓檢測裝置
KOSAKA小坂關(guān)節(jié)管測量儀
KOSAKA小坂探針卡檢測設(shè)備
KOSAKA小坂高精度貼片機
KOSAKA小坂傳感器
KOSAKA小坂研究所，營業(yè)項目：自動車光電半導體精密測定機器，表面粗度測定機，微細形狀測定，輪廓形狀測定機，真圓度測定/真圓度圓筒形狀測定機
營業(yè)項目適應(yīng)行業(yè)：
表面粗糙度測量機：使用鉆石或是激光光學測針、接觸（追蹤）加工件表面、測量出工件表面微細凹凸、并以定型或定量來分析粗糙度參數(shù)。
微細形狀、臺階測量計：FPD基板、硅晶片、硬磐等表面微細形狀、臺階、粗糙度測量
圓度、圓柱形狀測量機：測量發(fā)動機、缸體、活塞、曲軸、軸承等，具有圓度圓柱度、球形、平面形狀的工件，評估圓度、圓柱度、直線度、同軸度等形狀精度
輪廓測量機：以測針追蹤加工部件外形測量出輪廓，分析出輪廓各部位的角度，半徑、間隔、臺階、段差等等
它是一款全自動微形狀測量機，具有出色的精度、穩(wěn)定性和功能性，非常適合測量FPD基板、晶圓、硬盤等的精細形狀、臺階和粗糙度。 此外，您可以從多種型號中進行選擇，以適合您的應(yīng)用。
-
ET4000A???多功能全自動微形狀測量機
-
ET4000L：可處理大尺寸的全自動微形狀測量機
-
ET4000M???合理、高性能、通用的微形狀測量機
|
*大樣本量
|
210×210毫米、300×400毫米
|
|
再現(xiàn)性
|
1σ 0.5nm以下
|
|
測量范圍
|
Z軸：100μm X軸：100mm （Y軸行程：150~400mm）
|
|
分辨率
|
Z：0.1納米 X：0.01微米
|
|
測量力
|
0.5μN~500μN
|
