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博曼Bowman鍍層超大PCB/晶圓測量XRF測厚儀A系
產(chǎn)品型號: A系列
產(chǎn)品品牌:Bowman美國博曼
產(chǎn)品介紹:

美國博曼(Bowman)是高精度臺式鍍層測厚儀供應商,擁有近40年的行業(yè)經(jīng)驗。博曼XRF系統(tǒng)搭載擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的鍍層檢測技術(shù)和先進的軟件系統(tǒng),可精準高效地分析金屬鍍件中元素厚度和成分。XRF系統(tǒng)可同時測量包含基材在內(nèi)的五層元素,其中任何兩層元素可以是合金。同時,博曼XRF系統(tǒng)也可以測量高熵合金HEAs博曼XRF鍍層測量系統(tǒng)滿足業(yè)界對精度,可靠性和易用性的嚴格要求。

詳細介紹


A 系列微型 XRF 專為**測量半導體和微電子領域中*小的 X 射線特征而設計。 它可容納非常大的 PCB 面板或任何尺寸的晶圓,以實現(xiàn)完整的樣品覆蓋和多點可編程自動化。

Bowman 的 A 系列使用多毛細管光學器件將 X 射線束聚焦到 7.5 μm FWHM,這是使用 XRF 儀器進行涂層厚度分析的世界上*小的。 140X 放大相機用于測量該比例的特征; 它配有一個輔助低放大倍率相機,用于實時查看樣品和鳥瞰宏觀視圖成像。 Bowman 的雙攝像頭系統(tǒng)讓操作員可以看到整個零件,單擊圖像以使用高倍率攝像頭進行縮放,并**定位要編程和測量的特征。

可編程 XY 平臺在每個方向上移動 23.6 英寸(600 毫米),可以處理
業(yè)內(nèi)*大的樣本。 該平臺的每個軸的精度小于 +/- 1 μm,并且是
用于選擇和測量多個點; Bowman 模式識別軟件和自動對焦
功能也會自動執(zhí)行此操作。 該系統(tǒng)的內(nèi)置模式識別可用于查看零件(例如硅晶片)上涂層的形貌。






  

  


產(chǎn)品規(guī)格

元素測量范圍: 13號鋁元素 到 92號鈾元素
X射線管: 50 W Mo 目標 Flex-Beam 毛細管光學器件 @7.5 FWHM 在 17 KeV 可選:Cr 或 W
探測器: 優(yōu)于135eV分辨率的大窗口硅漂移探測器
分析層數(shù)
及元素數(shù):
5 層(4 層 + 基礎),每層 10 個元素。 同時分析多達 25 種元素的成分
濾波器/準直器: 4位置一次濾波器
輸出焦深: 固定為0.08英寸(2.03毫米)
數(shù)字脈沖處理: 具有靈活整形時間的 4096 CH 數(shù)字多通道分析儀。 自動信號處理,包括死區(qū)時間校正和逃逸峰校正
計算機: Intel,CORE i5 第 9 代處理器 (4.1 GHz),16GB RAM,Microsoft Windows 10 Prof,64 位
相機: 1 / 4"CMOS-1280×720 VGA分辨率
視頻放大倍率: 140X Micro & 7X Digital Zoom: 9X Macro & Table View
電源: 720W,100?240V; 頻率范圍為47Hz到63Hz
重量: 1000kg(2200磅)
工作環(huán)境: 溫度介于68°F(20°C)與77°F(25°C)之間,相對濕度小于98%,無冷凝
可編程XYZ平臺: XYZ行程:600毫米(23.6英寸)x 600毫米(23.6英寸)x 100毫米(3.9英寸)
XY桌面:560mm(22“)x 585mm(23”)
X & Y 軸精度:1um (40u”)
Z軸精度:1um (40u”)
樣品倉尺寸: 高度:100mm(4"),寬度:1400mm(55"),深度:1470mm(58")
外形尺寸: 高度:1780mm(70"),寬度:1470mm(58"),深度:1575mm(62")
其他新特征: Z 保護陣列、自動對焦、聚焦激光、圖案識別、Semi S2 S8 兼容就緒

X射線管 G系列 B系列 P系列 L系列 K系列 O系列 M系列 W系列 一系列的
陽極靶材 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠
X射線照射方式 由下往上 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下
探測器
SDD硅漂移探測器 普通 普通 普通 普通 普通 普通
大窗口硅漂移探測器 可選 可選 可選 可選 可選 可選 普通 普通 普通
光斑尺寸
單個準直器 普通 普通
多個準直器 可選 普通 普通 普通
毛細管光學結(jié)構(gòu) 可選 即將推出! 80um 15um 7.5um 7.5um
焦距
聚焦激光/自動聚焦 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通
單個固定焦距 普通 普通 普通  普通 普通 普通
可變焦距 可選 普通 普通 普通
視頻放大倍率
30X 微型 普通 普通 普通 普通 普通
55X 微型 可選 可選 可選 可選 可選 普通
140X 微型 普通 普通 普通
7倍數(shù)碼變焦 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通
9X 微距 普通 普通 普通
表格檢視 可選 可選 普通 普通 普通
平臺&外形尺寸
Z軸控制方式 自動表 自動表 自動表 自動表 自動表 自動表 自動表 可編程 可編程
Z軸行程 1" 5.2" 5.2" 10" 9" 5.2" 5.2" 3.9" 3.9"
基值 固定 可編程 可編程 可編程  可編程 可編程 可編程 可編程
標準XY行程 5 × 6" 10 × 10" 12 × 12"  5 × 6" 6.5 × 6.5" 12 × 16" 23 × 23"
可選XY行程 1.5 × 1.5" 10 × 10"  10 × 10"
可選的Max XY Travel 16 × 16"  16 × 16" 16 × 16"
平臺精度 0.0004" 0.0004" 0.0002" 0.0004" 0.0001" 40u” 40u”
樣品倉尺寸(高*寬*深) 4x13x12“ 5.5x12x13“ 5.5x12x13“ 11x22x24“ 24x24x9“ 5.5x12x13“ 5.4x12x13“ 4x29x36“ 4x55x58“
總重量
25kg 34kg 52-70kg 110kg 120kg 52-70kg 70kg 190kg 1000kg

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