M系列 是用于*小特征的高性能電鍍厚度測量的**產(chǎn)品。 M系列中的多毛細管光學元件比 O系列,將 X 射線束聚焦到 7.5μm FWHM。 為了在該尺度上測量特征,包括具有更高數(shù)碼變焦的 140 倍放大率相機。 隨著放大倍數(shù)的增加,視野變得更加受限,因此**臺相機拍攝要測量的零件的宏觀圖像。 雙攝像頭系統(tǒng)允許操作員查看整個零件,單擊圖像以使用高磁力攝像頭放大,并**定位要測量的特征。
高精度可編程XY平臺可用于選擇和測量多個點; 模式識別軟件也可以自動執(zhí)行該操作。2-D連續(xù)掃描功能可查看硅片等部件表面區(qū)域的涂層形貌。
標準配置包括7.5μm光學器件和高分辨率SDD檢測器,用于處理更高的計數(shù)率。 可編程XY樣品臺也是標準配置。 光學系統(tǒng)的焦距很近,因此使用M系列測量的樣品必須平坦。
現(xiàn)在提供擴展階段選項
鎳鈀金 | 化學鎳 | ||||
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微米金 | 微米鈀 | 微米鎳 | 微米NiP | 微米%P | |
Ave | 0.043 | 0.08 | 3.72 | 10.202 | 10.17 |
StdDev | 0.0005 | 0.0009 | 0.00010 | 0.1089 | 0.29 |
范圍 | 0.0015 | 0.0030 | 0.040 | 0.3863 | 0.9900 |
%RSD | 1.05% | 1.13% | 0.03% | 1.07% | 2.85% |
X射線管: | 50 W Mo 目標 Flex-Beam 毛細管光學器件 @15 FWHM 在 17 KeV |
探測器: | 135eV分辨率的硅漂移探測器 |
分析層數(shù) 及元素數(shù): |
5層(4層+基材) 每層可分析10種元素,成分分析*多可分析25種元素 |
濾波器/準直器: | 4位置一次濾波器 |
輸出焦深: | 固定為0.15英寸(3.81毫米) |
數(shù)字脈沖處理: | 4096 多通道數(shù)字處理器,自動死時間和逃逸峰校正 |
計算機: | 英特爾, 酷睿 i5 3470 處理器 (3.2GHz), 8GB DDR3 內(nèi)存, 微軟 Windows 10 專業(yè)版, 64位 |
相機: | 1/4英寸(6毫米)CMOS-1280×720 VGA分辨率,在250毫米(45英寸)屏幕上,雙攝像頭為381倍,單攝像頭為15倍 |
視頻放大倍率: | 140X 微型、7X 數(shù)字變焦、9X 微距和表格視圖 |
電源: | 150W,100-240V,頻率范圍為47Hz至63Hz |
工作環(huán)境: | 溫度介于68°F(20°C)與77°F(25°C)之間,相對濕度小于98%,無冷凝 |
重量: | 70kg |
可編程XY平臺: |
工作臺尺寸:431毫米(17英寸)x 406毫米(16英寸)| 行程:165毫米(6.5英寸)x 165毫米(6.5英寸)高精度 現(xiàn)在可用 擴展 舞臺選擇 |
樣品倉尺寸: | 高度:137mm(5.4"),寬度:310mm(12"),深度:340mm(13") |
外形尺寸: | 高度:500mm(20"),寬度:450mm(18"),深度:600mm(24") |
X射線管 | G系列 | B系列 | P系列 | L系列 | K系列 | O系列 | M系列 | W系列 | 一系列的 |
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陽極靶材 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 |
X射線照射方式 | 由下往上 | 由上往下 | 由上往下 | 由上往下 | 由上往下 | 由上往下 | 由上往下 | 由上往下 | 由上往下 |
探測器 | |||||||||
SDD硅漂移探測器 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 無 | 無 | 無 |
大窗口硅漂移探測器 | 可選 | 可選 | 可選 | 可選 | 可選 | 可選 | 普通 | 普通 | 普通 |
光斑尺寸 | |||||||||
單個準直器 | 普通 | 普通 | 無 | 無 | 無 | 無 | 無 | 無 | 無 |
多個準直器 | 無 | 可選 | 普通 | 普通 | 普通 | 無 | 無 | 無 | 無 |
毛細管光學結(jié)構(gòu) | 無 | 無 | 無 | 可選 | 即將推出! | 80um | 15um | 7.5um | 7.5um |
焦距 | |||||||||
聚焦激光/自動聚焦 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 |
單個固定焦距 | 普通 | 普通 | 無 | 無 | 無 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 |
可變焦距 | 無 | 可選 | 普通 | 普通 | 普通 | 無 | 無 | 無 | 無 |
視頻放大倍率 | |||||||||
30X 微型 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 無 | 無 | 無 | 無 |
55X 微型 | 可選 | 可選 | 可選 | 可選 | 可選 | 普通 | 無 | 無 | 無 |
140X 微型 | 無 | 無 | 無 | 無 | 無 | 無 | 普通 | 普通 | 普通 |
7倍數(shù)碼變焦 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 |
9X 微距 | 無 | 無 | 無 | 無 | 無 | 無 | 普通 | 普通 | 普通 |
表格檢視 | 無 | 無 | 無 | 可選 | 可選 | 無 | 普通 | 普通 | 普通 |
平臺&外形尺寸 | |||||||||
Z軸控制方式 | 自動表 | 自動表 | 自動表 | 自動表 | 自動表 | 自動表 | 自動表 | 可編程 | 可編程 |
Z軸行程 | 1" | 5.2" | 5.2" | 10" | 9" | 5.2" | 5.2" | 3.9" | 3.9" |
基值 | 無 | 固定 | 可編程 | 可編程 | 可編程 | 可編程 | 可編程 | 可編程 | 可編程 |
標準XY行程 | 無 | 無 | 5 × 6" | 10 × 10" | 12 × 12" | 5 × 6" | 6.5 × 6.5" | 12 × 16" | 23 × 23" |
可選XY行程 | 1.5 × 1.5" | 無 | 10 × 10" | 無 | 無 | 10 × 10" | 無 | 無 | 無 |
可選的Max XY Travel | 無 | 無 | 16 × 16" | 無 | 無 | 16 × 16" | 16 × 16" | 無 | 無 |
平臺精度 | 無 | 無 | 0.0004" | 0.0004" | 0.0002" | 0.0004" | 0.0001" | 40u” | 40u” |
樣品倉尺寸(高*寬*深) | 4x13x12“ | 5.5x12x13“ | 5.5x12x13“ | 11x22x24“ | 24x24x9“ | 5.5x12x13“ | 5.4x12x13“ | 4x29x36“ | 4x55x58“ |
總重量 | |||||||||
25kg | 34kg | 52-70kg | 110kg | 120kg | 52-70kg | 70kg | 190kg | 1000kg |