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產(chǎn)品類目

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進口美國博曼Bowman細線/晶圓測厚儀O系

產(chǎn)品型號： O系列

產(chǎn)品品牌：Bowman美國博曼

產(chǎn)品介紹：

美國博曼（Bowman）是高精度臺式鍍層測厚儀供應商，擁有近40年的行業(yè)經(jīng)驗。博曼XRF系統(tǒng)搭載擁有自主知識產(chǎn)權的鍍層檢測技術和先進的軟件系統(tǒng)，可精準高效地分析金屬鍍件中元素厚度和成分。XRF系統(tǒng)可同時測量包含基材在內的五層元素，其中任何兩層元素可以是合金。同時，博曼XRF系統(tǒng)也可以測量高熵合金HEAs博曼XRF鍍層測量系統(tǒng)滿足業(yè)界對精度，可靠性和易用性的嚴格要求。

詳細介紹

O系列結合了高性能和小的X射線光斑尺寸。多毛細管聚焦光學系統(tǒng)可以取代標準Bowman系統(tǒng)中安裝的準直儀組件，從而實現(xiàn)這一目標。光學器件旨在將來自管出口窗口的X射線聚焦到非常小的光斑尺寸（80μmFWHM），同時實際上保留100％的管通量。因此，與準直儀系統(tǒng)一樣，多毛細管光學組件不會使無法穿過小孔的X射線衰減，而是使來自管的幾乎所有X射線都能到達樣品。結果對于測試非常小的組件或薄涂層的靈敏度更高。與光學系統(tǒng)和類似尺寸的準直儀相比，更短的測試時間可以實現(xiàn)更好的可重復性。

該系列采用80μm毛細管光學結構，同時配備可處理更高計數(shù)速率的高分辨率SDD硅漂移探測器。與 P系列其他型號相比，O系列的相機具有更大的放大倍數(shù)，55x視頻放大和7x數(shù)碼變焦。一個可編程的XY樣品臺也是標準配置。O系列的焦距非常接近，所以使用時樣品必須平整。

現(xiàn)在提供擴展階段選項

性能表現(xiàn)

	鎳鈀金			化學鎳
	微米金	微米鈀	微米鎳	微米NiP	微米％P
Ave	0.043	0.08	3.72	10.202	10.17
StdDev	0.0005	0.0009	0.00010	0.1089	0.29
范圍	0.0015	0.0030	0.040	0.3863	0.9900
%RSD	1.05%	1.13%	0.03%	1.07%	2.85%

產(chǎn)品規(guī)格

X射線管：	50 W Mo 靶，帶毛細管光學器件 @80um FWHM，17 KeV
探測器：	135eV分辨率的硅漂移探測器
分析層數(shù) 及元素數(shù)：	5層（4層+基材）每層可分析10種元素，成分分析*多可分析25種元素
濾波器/準直器：	2位置一次濾波器
輸出焦深：	固定為0.1英寸（2.54毫米）
數(shù)字脈沖處理：	4096 多通道數(shù)字處理器，自動死時間和逃逸峰校正
計算機：	英特爾, 酷睿 i5 3470 處理器 (3.2GHz), 8GB DDR3 內存, 微軟 Windows 10 專業(yè)版, 64位
相機：	1/4英寸（6毫米）CMOS-1280×720 VGA分辨率，雙攝像頭為250倍，單攝像頭為45倍，屏幕為15英寸
視頻放大倍率：	55X Micro 7X 數(shù)碼變焦
電源：	150W，100-240V，頻率范圍為47Hz至63Hz
工作環(huán)境：	溫度介于68°F（20°C）與77°F（25°C）之間，相對濕度小于98％，無冷凝
重量：	53kg
可編程XY平臺：	桌子尺寸：381mm（15“）x 340mm（13”）\| 行程：152毫米（6英寸）x 127毫米（5英寸）現(xiàn)在可用擴展舞臺選擇
樣品倉尺寸：	高度：140mm（5.5"），寬度：310mm（12"），深度：340mm（13"）
外形尺寸：	高度：450mm（18"），寬度：450mm（18"），深度：600mm（24"）

X射線管	G系列	B系列	P系列	L系列	K系列	O系列	M系列	W系列	一系列的
陽極靶材	鎢/鉻/鉬/銠	鎢/鉻/鉬/銠	鎢/鉻/鉬/銠	鎢/鉻/鉬/銠	鎢/鉻/鉬/銠	鎢/鉻/鉬/銠	鎢/鉻/鉬/銠	鎢/鉻/鉬/銠	鎢/鉻/鉬/銠
X射線照射方式	由下往上	由上往下	由上往下	由上往下	由上往下	由上往下	由上往下	由上往下	由上往下
探測器
SDD硅漂移探測器	普通	普通	普通	普通	普通	普通	無	無	無
大窗口硅漂移探測器	可選	可選	可選	可選	可選	可選	普通	普通	普通
光斑尺寸
單個準直器	普通	普通	無	無	無	無	無	無	無
多個準直器	無	可選	普通	普通	普通	無	無	無	無
毛細管光學結構	無	無	無	可選	即將推出！	80um	15um	7.5um	7.5um
焦距
聚焦激光/自動聚焦	普通	普通	普通	普通	普通	普通	普通	普通	普通
單個固定焦距	普通	普通	無	無	無	普通	普通	普通	普通
可變焦距	無	可選	普通	普通	普通	無	無	無	無
視頻放大倍率
30X 微型	普通	普通	普通	普通	普通	無	無	無	無
55X 微型	可選	可選	可選	可選	可選	普通	無	無	無
140X 微型	無	無	無	無	無	無	普通	普通	普通
7倍數(shù)碼變焦	普通	普通	普通	普通	普通	普通	普通	普通	普通
9X 微距	無	無	無	無	無	無	普通	普通	普通
表格檢視	無	無	無	可選	可選	無	普通	普通	普通
平臺&外形尺寸
Z軸控制方式	自動表	自動表	自動表	自動表	自動表	自動表	自動表	可編程	可編程
Z軸行程	1"	5.2"	5.2"	10"	9"	5.2"	5.2"	3.9"	3.9"
基值	無	固定	可編程	可編程	可編程	可編程	可編程	可編程	可編程
標準XY行程	無	無	5 × 6"	10 × 10"	12 × 12"	5 × 6"	6.5 × 6.5"	12 × 16"	23 × 23"
可選XY行程	1.5 × 1.5"	無	10 × 10"	無	無	10 × 10"	無	無	無
可選的Max XY Travel	無	無	16 × 16"	無	無	16 × 16"	16 × 16"	無	無
平臺精度	無	無	0.0004"	0.0004"	0.0002"	0.0004"	0.0001"	40u”	40u”
樣品倉尺寸（高寬深）	4x13x12“	5.5x12x13“	5.5x12x13“	11x22x24“	24x24x9“	5.5x12x13“	5.4x12x13“	4x29x36“	4x55x58“
總重量
	25kg	34kg	52-70kg	110kg	120kg	52-70kg	70kg	190kg	1000kg

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性能表現(xiàn)

產(chǎn)品規(guī)格