以往的問題

端面采樣描述

通過位置調(diào)整，使采樣液不會(huì)被卷到旋轉(zhuǎn)晶圓的正反面上。（已取得**）

日本有限會(huì)社NAS技研簡易性微量金屬污染物采用設(shè)備（NAC系列）
NAC-302 NAC-304 NAC-316 

＜NAC系列的主要特點(diǎn)＞
●對(duì)于硅晶圓，全自動(dòng)地進(jìn)**相分解→污染物采樣→采樣樣品的稀釋作業(yè)。
●對(duì)于憎水性和親水性晶圓二者都可以采樣（端面采樣**憎水性晶圓）。
●對(duì)于大量晶圓有采樣分析的需求時(shí)，本設(shè)備可以大顯身手
●擁有對(duì)于采樣液的計(jì)量和稀釋功能，一旦晶圓上有藥液殘留時(shí)可以防止作業(yè)繼續(xù)進(jìn)行。
●獨(dú)特的窗門雙層結(jié)構(gòu)，以防工作空間內(nèi)的酸氣氛和操作員一方的空氣發(fā)生交叉污染。
●具有自動(dòng)清洗采樣用支架具的功能，削減了手工操作（※表面和端面二種支架具都適用）。

另外，還有“基體蝕刻→晶圓污染物采樣”全自動(dòng)設(shè)備（NAC-304）。
并且，近幾年來，為減少污染，對(duì)于“基體蝕刻→晶圓污染物采樣→ICP-MS自動(dòng)對(duì)接并進(jìn)行元素分析”一氣完成的需求日益高漲（NAC-316）。